フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM（パーフロ）ゴム材質の耐熱白色タイプであるフロロパワーFFSW（Fluoro-Power FFSW／FP-FFSW）は、原材料にパーフルオロエラストマー（FFKM）が用いられているOリング用の各種ゴム材質の中でも、耐熱黒色タイプのフロロパワーFFSと並ぶ上級グレードの高機能ゴム材質です。耐熱パーフロ（白色）の旧グレードであるフロロパワーFFHWと比較して全ての性能が勝っており、330℃クラスの耐熱性と極めて優秀な耐薬品性を兼ね備え、更に機械的性質を犠牲にすることなくノンカーボン化を実現しています。

フロロパワーFFSWは、半導体をはじめとする電子産業での高温プラズマ環境に於いてプロセス品質を向上させ、且つOリングの長時間に亘る使用を可能とする耐プラズマ性を有しています。特にCVDプロセスや拡散プロセスで重視される高温や腐食性ガス、そしてラジカル化した反応性ガス（CF4、NF3、HBr、CL2、NH3、SiH4など）に対する耐久性能が秀でており、コンタミネーションが及ぼすプロセスへの影響やOリングの交換頻度を抑えることで、広く成功を収めています。また、高温条件下に於いてもゴム弾性を力強く維持できるだけでなく、耐圧性をはじめとする機械的性質にも優れていることから、電子産業に限らず幅広い分野で活躍できる素質を持った特別なゴム材質です。

尚、フロロパワーFFSWはラジカル化した反応性ガス（フッ素ラジカルや塩素ラジカル、臭素ラジカルなど）環境下ではフロロパワーFFWやフロロパワーAPHW等々と並んで有効な選択肢のひとつですが、酸素（O2）ラジカル環境下では耐熱特級グレードのフロロパワーFFCTを含むプラズマ専用グレードの方が適しています。使用可能な材質が複数あるケースでも、より適切なものの選択を推奨いたします。

　* Oリング以外でも様々な形状の製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
　* フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

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