フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM（パーフロ）ゴム材質の耐熱白色グレードの旧タイプであるフロロパワーFFHW（Fluoro-Power FFHW／FP-FFHW）は、280℃の高温領域でも使用可能な耐熱性と、原材料のパーフロロエラストマー（FFKM）に由来する秀でた耐薬品性を有しているOリング用のゴム材質です。低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器のCVDやアニール、拡散といったプロセスをターゲットに開発されたものですが、現在は全ての性能が遥かに上回っている耐熱白色グレード上級タイプのフロロパワーFFSWへの切り替えを推奨しております。

尚、現在では殆ど全ての性能が上回っている耐熱白色グレードの新タイプであるフロロパワーFFSWへの切替を推奨していますが、CVDプロセスでの使用に於いては、LP-CVDやSA-CVDではフロロパワーFFSWやフロロパワーFFNがより優れた性能を発揮する反面、前述のHDP-CVDやPE-CVDでは、一部ではありますがフロロパワーFFHWの方が相性の良いケースも確認されています。プラズマ環境では微妙な相性が寿命を左右することも御座いますので、必要に応じてご相談ください。

　* Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
　* フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

>>>フロロパワーシリーズ（高機能材）
>>>材質の一覧（ラインナップと性能）
>>>材質名称の対比（規格／メーカー）