フロロパワーFFHW(耐熱・白色 FFKM/パーフロ;旧式)の概要

フロロパワーFFHW_桜シールOリング.jpgフロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質の耐熱白色グレードの旧タイプであるフロロパワーFFHW(Fluoro-Power FFHW/FP-FFHW)は、280℃の高温領域でも使用可能な耐熱性と、原材料パーフロロエラストマー(FFKM)に由来する秀でた耐薬品性を有しているOリング用のゴム材質です。フロロパワーFFWと同様に充填物質(フィラー)にカーボンブラックを用いていないことから低パーティクル性に優れ、半導体や液晶関連機器のCVDやアニール及び拡散、高温のドライエッチングなどのプロセスで、優秀な耐プラズマ性を発揮することが出来ます。特にPE-CVDやHDP-CVD装置内での使用については、NF3やSiH4といったクリーニングガスとの相性から大変適しています。同じく耐プラズマ性に優れたグレードであるノンフィラーパーフロのフロロパワーFFNがドライエッチングプロセスでの使用により適しているのに対し、異なる特性を持っている材質です。

 

尚、現在では殆ど全ての性能が上回っている耐熱白色グレードの新タイプであるフロロパワーFFSWへの切替を推奨していますが、CVDプロセスでの使用に於いては、LP-CVDやSA-CVDではフロロパワーFFSWやフロロパワーFFNがより優れた性能を発揮する反面、前述のHDP-CVDやPE-CVDでは、一部ではありますがフロロパワーFFHWの方が相性の良いケースも確認されています。プラズマ環境では微妙な相性が寿命を左右することも御座いますので、必要に応じてご相談ください。

 

 * Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

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化学構造

FP-FFHW.png4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ素化合物で、炭化水素結合が無いことから極性基にも強く、非常に優れた耐薬品性や耐熱性を有しています。尚、CSM部分は架橋し難いFFKM材の補助脚として非常に重要ですが、フロロパワーFFHWに於いては耐熱性の強化面でも大きな役割を担っており、特殊な構造をしています。

 

 

関連する法規制等

  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6+, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。

フロロパワーFFHW(耐熱・白色 FFKM/パーフロ;旧式)の特性値や物性値

フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質は、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として取り扱う場合は、ご使用の条件などを注意深くご確認ください。


フロロパワーFFHWと温度別(25〜300℃)耐熱老化試験

代表的な耐熱グレード(フロロパワーFFS、フロロパワーFFHW、フロロパワーFFH90フロロパワー3FH)に対して行った耐熱老化試験(温度別×70時間)のデータは以下のとおりです。尚、フロロパワー3FHは300℃で、比較用で同時に試験を行ったFKM-70 (4D)は270℃で、それぞれ破損してしまったことから測定不能でした。

 

硬さ変化の比較 引張強さ変化の比較 伸び変化の比較
硬さ変化の比較-グラフ.jpg
引張強さ変化の比較グラフ.jpg
伸び変化の比較グラフ.jpg

グラフ-凡例.jpg



フロロパワーFFHWの物性値

試験種類 項目 フロロパワーFFHW
(測定値)
常態物性試験 硬さ(JIS A) 72
引張強さ(MPa) 12.4
伸び率(%) 310
100%引張応力(MPa) 4.84
耐熱老化試験 試験条件 230℃×70時間
硬さ変化 0
引張強さ変化率(%) +11
伸び変化率(%) +9
圧縮永久歪み試験 試験条件 200℃×70時間
圧縮永久歪み率(%) 37

 

 

使用温度範囲

推奨値は0〜280℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪化する為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。

 

 

圧力特性

推奨最高圧力は3MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性バックアップリングの併用で向上させることが出来ます。



耐薬品性

殆ど全ての薬品に耐性がありますが、フロロパワーFFフロロパワーFFSと比較すると、劣っている部分があります。Oリングの耐薬品性(接触流体と材質の適合性)に於いてより多くの液体や気体に対する耐久性の一覧を掲載しておりますので、下表と併せて参考にして下さい。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトアルデヒド ジメチルアセトアミド
アセトン ジエチルエーテル
アニリン A重油
アンモニア水 シンナー
IPA 水酸化リチウム
エタノール 100℃水蒸気 ×
エチレングリコール エチレングリコール
エチレンジアミン × テトラヒドロフラン
N-メチル-2-ピロリドン TEOS
塩化エチル トリクロロエチレン
塩酸 トルエン
エンジン油 トリエチルアミン ×
王水 ブチルアセテート
過酸化水素水 フッ酸
苛性カリ フレオンR134a ×
苛性ソーダ 不活性フッ素オイル ×
ガソリン ブレーキ油
蟻酸 ヘキサン
キシレン ベンゼン
クロロブロモメタン ホルマリン
クロロホルム メタクリル酸
ケロシン
三フッ化窒素 水系切削油
酢酸 メタノール
酢酸エチル MEK
硝酸 メチルイソブチルケトン
シクロヘキサン モノエタノールアミン ×
次亜塩素酸ソーダ ラッカー
ジオキサン リン酸エステル系作動油
四塩化炭素 硫酸
ジクロロメタン リチウムグリス
四フッ化炭素 六フッ化硫黄

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない ×:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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フロロパワーFFHW(耐熱・白色 FFKM/パーフロ;旧式)の使用について

主な使用箇所

  • CVDプロセスのゲートバルブ
  • CVDプロセスのドアバルブ
  • CVDプロセスのL型(アングル)バルブ
  • CVDプロセスの排気継手
  • CVDプロセスのチャンバーリッド
  • CVDプロセスの周辺機器
  • CVDプロセスのカソード

 

 

取扱注意点

  • 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
  • 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
  • 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
  • 適さない流体との接触には十分注意して下さい。

 

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