フロロパワーFFCT(耐熱FFKM/特級、耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/上級)の概要

フロロパワーFFCT(Fluoro-Power FFCT/FP-FFCT)は、370℃クラスという世界最高レベルの耐熱性を備えたOリング用のゴム材質です。高機能フッ素ゴムの代名詞とも目される各種FFKM(パーフロ)材質は、耐熱性の他にも極めて優秀な耐薬品性などの諸性能により、フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに於いても旗艦を担う先端的な高分子化合物です。その中に在って高温域での選択肢としてこれまで頂点を担ってきたフロロパワーFFSGに対し、どうしても生産が不安定なってしまうSGCNT(Super Growth single-walled Carbon Nanotube = スーパーグロース法による単層カーボンナノチューブ)に拠らず、全く異なるアプローチで挑んだのがこのフロロパワーFFCTです。フロロパワーFFSフロロパワーFFSWフロロパワーFFCSといった上級グレードを超越する耐熱性で、幅広い産業からのシビアな要件にお応えします。

またフロロパワーFFCTは、耐プラズマ・O2ラジカル用の上級グレードとしての一面も備えています。同じく上級グレードのフロロパワーFFTフロロパワーFFNTの耐熱性を向上させた位置付けとなり、ラジカル化したプロセスガスに因るクラックや重量減少を極めて高い水準で抑制し、パーティクル汚染を防止できる耐プラズマ性を有しています。その秀でた耐熱性と相俟って、CVDや拡散など、高温に晒されるプラズマ環境での活躍が顕著です。尚、半導体製造プロセスに留まらず幅広い産業で採用されているゴム材質ではありますが、飽和蒸気やアミン系流体には適しません。耐薬品性に優れてはいても万能ではありませんので、ご注意下さい。

 * Oリング以外でも様々な形状の製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 
* フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

>>>フロロパワーシリーズ(高機能材)
>>>材質の一覧(ラインナップと性能)
>>>材質名称の対比(規格/メーカー)

CSM:Cure Site Monomer

化学構造

4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てが弗素結合(C-F)であり、炭化水素結合(C-H)が無い為、非常に優れた耐薬品性や耐熱性を有しています。尚、全体的に殆ど弗素化されている構造であることから架橋が難しい為、補助脚としてCSMが付加されています。

 

関連する法規制等

  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6⁺, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。
  • TSCA PBT5物質(DecaBDE、2,4,6-TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP)の意図的な添加は行っておりません。

フロロパワーFFCT(耐熱FFKM/特級、耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/上級)の特性値や物性値

フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質には、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として取り扱う場合は、使用条件などを注意深く確認して下さい。

 

フロロパワーFFCTと長時間(672時間)耐熱老化試験

耐熱FFKMの上位3グレード(フロロパワーFFCT、フロロパワーFFSW、及びフロロパワーFFSG)に対し、特殊条件(300℃×最長672時間)による耐熱老化試験を実施いたしました。データは以下の通りです。

  硬度変化の推移

  引張強さ変化の推移

  伸び変化の推移

FP-FFCT長時間耐熱老化試験(硬度).png
FP-FFCT長時間耐熱老化試験(引張強さ).png
FP-FFCT長時間耐熱老化試験(伸び率).png

フロロパワーFFCTと温度別(25~380℃)耐熱老化試験

耐熱FFKMの上位3グレード(フロロパワーFFCT、フロロパワーFFSW、及びフロロパワーFFSG)のデータは、以下の通りです。

  硬度変化の推移

  引張強さ変化の推移

  伸び変化の推移

FP-FFCT_温度別耐熱老化試験(硬度).png
FP-FFCT_温度別耐熱老化試験(引張強さ).png
FP-FFCT_温度別耐熱老化試験(伸び率).png

フロロパワーFFCTの圧縮永久歪み

高温条件下での圧縮永久歪み性能が秀でており、長時間に亘る連続の高温環境であっても、優れた性能を発揮することが出来ます。

70時間温度別圧縮永久歪み

FP-FFCT_70時間温度別圧縮永久歪み.png

試験片:P-26 圧縮率:20% 試験時間:70時間

320℃付近までは、特に優れた圧縮永久歪み率を保持します。

長時間圧縮永久歪み

FP-FFCT_長時間圧縮永久歪み

試験片:P-26 圧縮率:20% 試験温度:300℃

高温下で長時間を経ても、圧縮永久歪み率の変化が低く抑えられています。

フロロパワーFFCTの測定値

試験種類 項目 フロロパワーFFCT

常態物性試験

硬さ(JIS-A)

72

引張強さ(MPa)

11.7

伸び率(%)

180

100%引張応力(MPa)

3.8

耐熱老化試験

試験条件 300℃×70時間
硬さ変化 0
引張強さ変化率(%) 2
伸び変化率(%) 24

圧縮永久歪み試験

試験条件 300℃×70時間

圧縮永久歪み率(%)

11

使用温度範囲

推奨値は0〜370℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪化する為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。

 

圧力特性

最高圧力の推奨値は3MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性バックアップリングの併用で向上させることが出来ます。

 

耐薬品性

優秀です。殆どの薬品に耐性を有し、様々なゴム材質の中でも秀でています。但し、フロロパワーFFをはじめとする他のFFKM材質との比較では、アミン類や水蒸気などへの耐性が劣っており、注意が必要です。Oリングの耐薬品性(接触流体と材質の適合性)に於いてより多くの液体や気体に対する耐久性の目安を掲載しておりますので、下表と併せて参考にしてみて下さい。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトアルデヒド ジメチルアセトアミド
アセトン ジエチルエーテル
アニリン A重油
アンモニア水 シンナー
IPA 水酸化リチウム
エタノール 100℃水蒸気 ×
エチレングリコール テトラクロロエチレン
エチレンジアミン × テトラヒドロフラン
N-メチル-2-ピロリドン 灯油
塩化エチル トリクロロエチレン
塩酸 トルエン
エンジン油 トリエチルアミン ×
王水 ブチルアセテート
過酸化水素水 フッ酸
苛性カリ フレオンR134a ×
苛性ソーダ 不活性フッ素オイル ×
ガソリン ブレーキフルード(エーテル系)
カップグリス ヘキサン
蟻酸 ベンゼン
キシレン ホルマリン
クロロブロモメタン メタクリル酸
クロロホルム
酢酸 メタノール
酢酸エチル MEK
硝酸 メチルイソブチルケトン
シクロヘキサン モノエタノールアミン ×
次亜塩素酸ソーダ ラッカー
ジオキサン リン酸エステル系作動油
四塩化炭素 硫酸
ジクロロメタン リチウムグリス
シリコングリス 六フッ化硫黄

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない ×:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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フロロパワーFFCT(耐熱FFKM/特級、耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/上級)の使用について

主な使用箇所

  • 高温真空装置のシール材
  • 半導体酸化・拡散装置の耐熱シール材
  • 高温継手、カプラのシール材
  • 高温環境でのメカニカルシールのシール材
  • 化学プラント設備のシール材
  • 半導体製造CVD装置のチャンバーリッド
  • 半導体製造CVD装置の静電チャック
  • 半導体製造CVD装置のハンドリングパッド
  • 半導体製造CVD装置のカソード
  • 半導体製造CVD装置のフランジ

 

取扱注意点

  • 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
  • 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
  • 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
  • 適さない流体との接触には十分注意して下さい。

 

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