フロロパワー(Fluoro-Power)シリーズに属するFFKM材質のFFNT(Fluoro-Power FFNT/FP-FFNT)は、高温の強酸とプラズマ・O2ラジカルという全く異なる二つの環境に於いて、それぞれ非常に優れた耐久性能を有すOリング用ゴム材質です。耐高温強酸グレードの側面では、200℃の熱濃硫酸やピラニア溶液(SPM = Sulfuric acid-Hydrogen Peroxide Mixture)といった劇的な酸化作用と炭化作用を併せ持つ強酸性物質に対して、一般的なFFKM材質とは比較にならないレベルの耐薬品性を示します(浸漬試験データ)。また耐プラズマ・O2ラジカル用の上級グレードとしての側面では、同じく上級グレードのフロロパワーFFTの耐熱性を向上させた位置付けとなり、ラジカル化したプロセスガスに因るクラックや重量減少を極めて高い水準で抑制し、パーティクル汚染を防止できる耐プラズマ性を、耐熱特級グレードのフロロパワーFFCTに次ぐ高温領域で実現しています。
二つの特殊環境に適合するフロロパワーFFNTですが、双方の環境には殆ど接点が無い為、それぞれの性能を同時に発揮できる機会は極めて稀であると推察します。それぞれの性能は切り分けて捉えることを推奨します。また、特殊な環境に向けて開発されているフロロパワーFFNTは、尋常のFFKM材質とは一線を画す性能を有している反面、機械的性質など、汎用的な工業用途には積極的な配慮が為されていないところがあります。特に高温環境下での耐薬品性は代替不能な性能であり、半導体製造プロセスに留まらず幅広い分野で活躍しているゴム材質ではありますが、使用条件や目的を考慮した選定をお願い致します。
* Oリング以外でも様々な形状の製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
* フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。
化学構造
4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ
素化合物で炭化水素結合が無い為、高温や腐食性ガスへの極めて優秀な耐性を有しています。また、全体的に殆どフッ素化されている構造を持ちながら、補助脚のCSMに拠って架橋を促すことが可能になっています。
関連する法規制等
フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質には、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として検討する際は、十分に注意して下さい。
耐高温強酸性
フロロパワーFFNTに対して行われた浸漬試験のデータを一部公開します。斯様な条件下では、たとえ耐薬品性に優れるFFKM材質ではあっても、一般的なものでは通常5%以上の重量変化を起こします。そのことからも、フロロパワーFFNTが高温環境下での耐薬品性に突出して優れていることが伺えます。
| 薬品 | 濃度 | 温度 (℃) | 重量変化率(%) | ||
| 24時間後 | 168時間後 | 672時間後 | |||
| H2SO4 | 98 | 200 | 0.4 | 0.6 | 1.1 |
| 150 | 0.2 | 0.3 | 0.6 | ||
| SPM H2SO4+H2O2 | 10 | 200 | 0.2 | 0.5 | 1.0 |
| 150 | 0.0 | 0.1 | 0.2 | ||
| HF+HCL | 50 | 70 | 0.1 | 0.3 | 0.5 |
フロロパワーFFNTの測定値
| 試験種類 | 項目 | フロロパワーFFNT | |
|---|---|---|---|
| 71 | |||
| 13.9 | |||
| 220 | |||
| 2.8 | |||
| 試験条件 | 200℃×70時間 | 250℃×70時間 | |
| 硬さ変化 | 2 | 2 | |
| 引張強さ変化率(%) | 0 | -1 | |
| 伸び変化率(%) | 2 | 2 | |
| 試験条件 | 200℃×70時間 | ||
| 25 | |||
| 薬品名 | 耐性 | 薬品名 | 耐性 |
|---|---|---|---|
| アセトアルデヒド | ◎ | ジメチルアセトアミド | ◎ |
| アセトン | ◎ | ジエチルエーテル | ◎ |
| アニリン | ◎ | テトラクロロエチレン | 〇 |
| アンモニア水 | ◎ | テトラヒドロフラン | ◎ |
| IPA | ◎ | トリクロロエチレン | 〇 |
| エタノール | ◎ | トルエン | ◎ |
| エチレンジアミン | ◎ | ブチルアセテート | ◎ |
| N-メチル-2-ピロリドン | ◎ | フッ酸 | ◎ |
| 塩酸 | ◎ | フレオンR134a | × |
| 王水 | ◎ | 不活性フッ素オイル | × |
| 過酸化水素水 | ◎ | ヘキサン | ◎ |
| 苛性カリ | ◎ | ベンゼン | ◎ |
| 苛性ソーダ | ◎ | ホルマリン | ◎ |
| キシレン | ◎ | メタノール | ◎ |
| クロロホルム | 〇 | MEK | ◎ |
| 酢酸 | ◎ | メチルイソブチルケトン | ◎ |
| 酢酸エチル | ◎ | モノエタノールアミン | ◎ |
| 硝酸 | ◎ | 硫酸 | ◎ |
| ジオキサン | ◎ | HBr | ◎ |
| 四塩化炭素 | 〇 | NF3 | ◎ |
| ジクロロメタン | ◎ | SF6 | ◎ |
| BCl3 | ◎ | SiF4 | ◎ |
| CF4 | ◎ | SiH4 | ◎ |
| CHF3 | ◎ | TEOS | ◎ |
| ClF3 | ◎ | Ti2Cl4 | ◎ |
◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない ×:使用不可
注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。
主な使用箇所
取扱注意点
〒130-0021
東京都墨田区緑3丁目4番10号
桜シール本社ビル