フロロパワーFFNT(耐高温強酸、耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/上級)の概要

フロロパワー(Fluoro-Power)シリーズに属するFFKM材質のFFNT(Fluoro-Power FFNT/FP-FFNT)は、高温の強酸とプラズマ・O2ラジカルという全く異なる二つの環境に於いて、それぞれ非常に優れた耐久性能を有すOリング用ゴム材質です。耐高温強酸グレードの側面では、200℃の熱濃硫酸やピラニア溶液(SPM = Sulfuric acid-Hydrogen Peroxide Mixture)といった劇的な酸化作用と炭化作用を併せ持つ強酸性物質に対して、一般的なFFKM材質とは比較にならないレベルの耐薬品性を示します(浸漬試験データ)。また耐プラズマ・O2ラジカル用の上級グレードとしての側面では、同じく上級グレードのフロロパワーFFT耐熱性を向上させた位置付けとなり、ラジカル化したプロセスガスに因るクラックや重量減少を極めて高い水準で抑制し、パーティクル汚染を防止できる耐プラズマ性を、耐熱特級グレードのフロロパワーFFCTに次ぐ高温領域で実現しています。

二つの特殊環境に適合するフロロパワーFFNTですが、双方の環境には殆ど接点が無い為、それぞれの性能を同時に発揮できる機会は極めて稀であると推察します。それぞれの性能は切り分けて捉えることを推奨します。また、特殊な環境に向けて開発されているフロロパワーFFNTは、尋常のFFKM材質とは一線を画す性能を有している反面、機械的性質など、汎用的な工業用途には積極的な配慮が為されていないところがあります。特に高温環境下での耐薬品性は代替不能な性能であり、半導体製造プロセスに留まらず幅広い分野で活躍しているゴム材質ではありますが、使用条件や目的を考慮した選定をお願い致します。

 * Oリング以外でも様々な形状の製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

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化学構造

CSM:Cure Site Monomer

4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ
素化合物で炭化水素結合が無い為、高温や腐食性ガスへの極めて優秀な耐性を有しています。また、全体的に殆どフッ素化されている構造を持ちながら、補助脚のCSMに拠って架橋を促すことが可能になっています。

 

関連する法規制等

  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6⁺, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。
  • TSCA PBT5物質(DecaBDE、2,4,6-TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP)の意図的な添加は行っておりません。

フロロパワーFFNT(耐高温強酸、耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/上級)の特性値や物性値

フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質には、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として検討する際は、十分に注意して下さい。

 

耐高温強酸性

フロロパワーFFNTに対して行われた浸漬試験のデータを一部公開します。斯様な条件下では、たとえ耐薬品性に優れるFFKM材質ではあっても、一般的なものでは通常5%以上の重量変化を起こします。そのことからも、フロロパワーFFNTが高温環境下での耐薬品性に突出して優れていることが伺えます。

薬品

濃度
(%)

温度
(℃)
重量変化率(%)
24時間後 168時間後 672時間後
H2SO4 98 200 0.4 0.6 1.1
150 0.2 0.3 0.6
SPM
H2SO4+H2O2
10 200 0.2 0.5 1.0
150 0.0 0.1 0.2
HF+HCL 50 70 0.1 0.3 0.5

 

 フロロパワーFFNTの測定値

試験種類 項目 フロロパワーFFNT

常態物性試験

硬さ(JIS-A)

71

引張強さ(MPa)

13.9

伸び率(%)

220

100%引張応力(MPa)

2.8

耐熱老化試験

試験条件 200℃×70時間 250℃×70時間
硬さ変化 2 2
引張強さ変化率(%) 0 -1
伸び変化率(%) 2 2

圧縮永久歪み試験

試験条件 200℃×70時間

圧縮永久歪み率(%)

25

使用温度範囲

推奨値は0~280℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性を失い易く、シール性に悪影響を及ぼすことがあります。ご注意下さい。

 

圧力特性

最高圧力の推奨値は3MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性バックアップリングの併用で向上させることが出来ます。

 

耐薬品性

極めて優秀です。あらゆる薬品に耐性を有し、様々なゴム材質の中でも秀でています。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトアルデヒド ジメチルアセトアミド
アセトン ジエチルエーテル
アニリン テトラクロロエチレン
アンモニア水 テトラヒドロフラン
IPA トリクロロエチレン
エタノール トルエン
エチレンジアミン ブチルアセテート
N-メチル-2-ピロリドン フッ酸
塩酸 フレオンR134a ×
王水 不活性フッ素オイル ×
過酸化水素水 ヘキサン
苛性カリ ベンゼン
苛性ソーダ ホルマリン
キシレン メタノール
クロロホルム MEK
酢酸 メチルイソブチルケトン
酢酸エチル モノエタノールアミン
硝酸 硫酸
ジオキサン HBr
四塩化炭素 NF3
ジクロロメタン SF6
BCl3 SiF4
CF4 SiH4
CHF3 TEOS
ClF3 Ti2Cl4

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない ×:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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フロロパワーFFNT(耐高温強酸、耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/上級)の使用について

主な使用箇所

  • 半導体洗浄装置の高温洗浄部分
  • 半導体製造エッチング装置やCVD装置のチャンバーリッド
  • 半導体製造エッチング装置やCVD装置置の静電チャック
  • 半導体製造エッチング装置やCVD装置置のハンドリングパッド
  • 半導体製造エッチング装置やCVD装置のカソード
  • 半導体製造エッチング装置やCVD装置のフランジ

 

取扱注意点

  • 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
  • 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
  • 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
  • 適さない流体との接触には十分注意して下さい。

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