フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質のノンフィラー耐熱タイプであるフロロパワーFFN(Fluoro-Power FFN/FP-FFN)は、一切の充填材を含まないノンカーボン・ノンメタルのOリング用のゴム材質です。チタンのような重金属は無論のこと、白色標準タイプのフロロパワーFFWなどに白色充填材として用いられているバリウムなども一切含まれていないことから、非常に優れた低パーティクル性を実現しています。また、基材のパーフルオロエラストマー(FFKM)に由来する耐薬品性の他、耐熱性についても上級グレードのフロロパワーFFSに次ぐ300℃クラスの性能を有しています。
フロロパワーFFNの性能は、半導体や液晶などの電子産業で高い効果を発揮します。ドライプロセスに於ける金属パーティクル抑制に秀でており、ハロゲンプラズマ(フッ素ラジカルや塩素ラジカル、臭素ラジカル等)環境下ではフロロパワーFFSWやフロロパワーFFW、フロロパワーAPHWと並んで有効な選択肢のひとつとなります。但し、酸素ラジカルにはフロロパワーFFTといった別系統の専用材質が推奨されるなど、プラズマ環境下では微妙な相性によって寿命が大きく左右されることが御座います。適切な選定に向けては、必要に応じてご相談ください。
* Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
* フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。
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化学構造
フロロパワーFFと同じく、4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ素結合(C−F)で炭化水素結合(C−H)が無いことで、極めて優秀な耐薬品や腐食ガス性、耐熱性を有します。パーフルオロエラストマー(FFKM)を架橋させる為の補助脚として付加されているCSM部分は、各原料メーカーが耐薬品性などに影響が出難いよう独自に開発を行っています。どのメーカーも非公開にしている部分ですが、フロロパワーFFNに於いては特にこの部分と架橋助剤に特殊な技術が用いられており、それにより高い機械特性を実現しています。 | ![]() |
CSM:Cure Site Monomer |
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