フロロパワーFFN(ノンフィラー FFKM/パーフロ)の概要

フロロパワーFFN_桜シールOリング.jpgフロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質のノンフィラー耐熱タイプであるフロロパワーFFN(Fluoro-Power FFN/FP-FFN)は、一切の充填材を含まないノンカーボン・ノンメタルのOリング用のゴム材質です。チタンのような重金属は無論のこと、白色標準タイプのフロロパワーFFWなどに白色充填材として用いられているバリウムなども一切含まれていないことから、非常に優れた低パーティクル性を実現しています。また、基材のパーフルオロエラストマー(FFKM)に由来する耐薬品性の他、耐熱性についても最高峰のフロロパワーFFSに次ぐ300℃クラスの性能を有しています。


フロロパワーFFNの性能は、半導体や液晶などの電子産業で特に高い効果を発揮します。ドライプロセスに於ける金属パーティクル抑制や、強いエッチング力を示すプラズマに対する耐性に秀でており、特に「酸素+フッ素」プラズマを用いたドライエッチング環境での浸食を低減してライフサイクルを長期化できる他、SA-CVDやメタルCVDといったプロセスにも大変有効な材質です。尚、PE-CVDやHDP-CVD装置内での使用では、TEOSやNH3といったクリーニングガスにはフロロパワーFFNやフロロパワーFFSWがより優れた性能を発揮する反面、NF3やSiH4には、一部ではありますがフロロパワーFFHWの方が相性の良いケースも確認されています。プラズマ環境では微妙な相性が寿命を左右することも御座いますので、必要に応じてご相談ください。

 

 * Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

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化学構造

フロロパワーFFと同じく、4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ素結合(C−F)で炭化水素結合(C−H)が無いことで、極めて優秀な耐薬品や腐食ガス性、耐熱性を有します。パーフルオロエラストマー(FFKM)を架橋させる為の補助脚として付加されているCSM部分は、各原料メーカーが耐薬品性などに影響が出難いよう独自に開発を行っています。どのメーカーも非公開にしている部分ですが、フロロパワーFFNに於いては特にこの部分と架橋助剤に特殊な技術が用いられており、それにより高い機械特性を実現しています。 FP-FFN.png
CSM:Cure Site Monomer



関連する法規制等

  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6+, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。

フロロパワーFFN(ノンフィラー FFKM/パーフロ)の特性値や物性値

フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質は、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として取り扱う場合は、ご使用の条件などを注意深くご確認ください。


フロロパワーFFNの測定値

試験種類 項目 フロロパワーFFN A社無充填材パーフロ
(参考)
B社低金属パーフロ
(参考)
常態物性試験 硬度 (JIS-A) 67 69
72
引張強さ (MPa) 16.9
16.0
16.0
伸び率 (%) 200 246 200
100%引張応力 (MPa) 4.1 2.9 3.5
圧縮永久歪み試験 試験条件 200℃×70時間 常温×70時間 200℃×70時間
圧縮永久歪み率 (%) 37 15 48

 

 

使用温度範囲

推奨値は0〜300℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪くなる為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。

 

 

圧力特性

最高圧力の推奨値は4MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性バックアップリングの併用で向上させることが出来ます。

 

 

耐薬品性

極めて優れており、あらゆる薬品に使用することが可能です。Oリングの耐薬品性 (接触流体と材質の適合性)にてより多くの液体や気体に対する耐性の一覧を掲載しておりますので、下表と併せて参考にして下さい。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトアルデヒド ジメチルアセトアミド
アセトン ジエチルエーテル
アニリン 重油
アンモニア水 シンナー
IPA スピンドル油
エタノール 100℃水蒸気
エチレングリコール テトラクロロエチレン
エチレンジアミン テトラヒドロフラン
N-メチル-2-ピロリドン 灯油
エマルジョン系作動油 トリクロロエチレン
塩酸 トルエン
エンジン油 動物油
王水 ブチルアセテート
過酸化水素水 フッ酸
苛性カリ フレオンR134a ×
苛性ソーダ 不活性フッ素オイル ×
ガソリン ブレーキ油
カップグリス ヘキサン
ギア油 ベンゼン
キシレン ホルマリン
軽油 マシン油
クロロホルム
ケロシン 水系切削油
酢酸 メタノール
酢酸エチル MEK
硝酸 メチルイソブチルケトン
植物油 モノエタノールアミン
次亜塩素酸ソーダ ラッカー
ジオキサン りん酸エステル系作動油
四塩化炭素 硫酸
ジクロロメタン リチウムグリス
シリコングリス 鉱油系冷凍機油

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない X:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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フロロパワーFFN(ノンフィラー FFKM/パーフロ)の使用について

主な使用箇所

  • ドライエッチング、CVDプロセスのゲートバルブ
  • ドライエッチング、CVDプロセスのドアバルブ
  • ドライエッチング、CVDプロセスのL型(アングル)バルブ
  • ドライエッチング、CVDプロセスの排気継手
  • ドライエッチング、CVDプロセスのチャンバーリッド
  • ドライエッチング、CVDプロセスの周辺機器

 

 

取扱注意点

  • 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
  • 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
  • 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
  • 適さない流体との接触には十分注意して下さい。

 

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