フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM（パーフロ）ゴム材質のノンフィラー耐熱タイプであるフロロパワーFFN（Fluoro-Power FFN／FP-FFN）は、一切の充填材を含まないノンカーボン・ノンメタルのOリング用のゴム材質です。チタンのような重金属は無論のこと、白色標準タイプのフロロパワーFFWなどに白色充填材として用いられているバリウムなども一切含まれていないことから、非常に優れた低パーティクル性を実現しています。また、基材のパーフルオロエラストマー（FFKM）に由来する耐薬品性の他、耐熱性についても最高峰のフロロパワーFFSに次ぐ300℃クラスの性能を有しています。
フロロパワーFFNの性能は、半導体や液晶などの電子産業で特に高い効果を発揮します。ドライプロセスに於ける金属パーティクル抑制や、強いエッチング力を示すプラズマに対する耐性に秀でており、特に「酸素＋フッ素」プラズマを用いたドライエッチング環境での浸食を低減してライフサイクルを長期化できる他、SA-CVDやメタルCVDといったプロセスにも大変有効な材質です。尚、PE-CVDやHDP-CVD装置内での使用では、TEOSやNH3といったクリーニングガスにはフロロパワーFFNやフロロパワーFFSWがより優れた性能を発揮する反面、NF3やSiH4には、一部ではありますがフロロパワーFFHWの方が相性の良いケースも確認されています。プラズマ環境では微妙な相性が寿命を左右することも御座いますので、必要に応じてご相談ください。
* Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
* フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。
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化学構造
| フロロパワーFFと同じく、4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ素結合（C−F）で炭化水素結合（C−H）が無いことで、極めて優秀な耐薬品や腐食ガス性、耐熱性を有します。パーフルオロエラストマー（FFKM）を架橋させる為の補助脚として付加されているCSM部分は、各原料メーカーが耐薬品性などに影響が出難いよう独自に開発を行っています。どのメーカーも非公開にしている部分ですが、フロロパワーFFNに於いては特にこの部分と架橋助剤に特殊な技術が用いられており、それにより高い機械特性を実現しています。 |  |
| CSM：Cure Site Monomer |
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