フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質の標準白色タイプであるフロロパワーFFW(Fluoro-Power FFW/FP-FFW)は、原材料のパーフルオロエラストマー(FFKM)に由来する極めて優れた耐薬品性や耐熱性に加え、フィラー(充填物質)にカーボンブラックを用いない配合によって耐プラズマ性などを良化させた、フロロパワーFFの白色バージョンに当たるOリング用のゴム材質です。
フロロパワーFFWは、主に半導体や液晶などの電子産業で使用されている材質です。白色フィラーによりラジカルガスアタックを受け難くなっていることから、ハロゲンプラズマ(フッ素ラジカルや塩素ラジカル、臭素ラジカル等)を用いたエッチングプロセスや、成膜プロセスに於けるコンタミネーションの抑制に適しています。プラズマの密度や温度条件などを勘案しつつ、フロロパワーAPHWやフロロパワーFFSWと併せてご検討ください。尚、酸素プラズマ環境にはフロロパワーFFTなどをお薦めしております。また、電子産業の他では黒色物質を嫌う特殊薬品の生産設備などでも重用されています。
一般にFFKM(パーフロ)ゴム材質は機械特性に劣るものが多く、特に白色配合ではカーボンブラック不使用による補強効果の低下が、その欠点をより顕著にしてしまう傾向があります。しかしフロロパワーFFWについては、良好な機械特性を持つポリマーをベースに重ねられた配合研究によって、機械特性に係る弱点が解消されています。耐熱白色タイプのフロロパワーFFSWと並び、白色でありながら動的な使用にも適したFFKM(パーフロ)ゴム材質です。
* Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
* フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。
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化学構造
フロロパワーFFと同じく、4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ素化合物で炭化水素結合が無いことから、非常に優れた耐薬品性や耐腐食ガス性、耐熱性を有しています。尚、元来FFKM材料は加硫しない構造をしており、Oリング等として成形することは出来ません。CSM部分はその問題を解消する為の補助脚として付加されている重要な部分で、原料メーカー各社(フロロパワーFFWではAGC旭硝子社)が耐薬品性などに影響が出ない構造物を独自に開発しております。現在、全てのメーカーはその部分を非公開としています。 | ![]() |
CSM:Cure Site Monomer |
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