フロロパワーFFW(パーフロ白/白色FFKM)の概要

フロロパワーFFW_桜シールOリング.jpgフロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質の標準白色タイプであるフロロパワーFFW(Fluoro-Power FFW/FP-FFW)は、原材料パーフルオロエラストマー(FFKM)に由来する極めて優れた耐薬品性耐熱性に加え、フィラー(充填物質)にカーボンブラックを用いない配合によって耐プラズマ性などを良化させた、フロロパワーFFの白色バージョンに当たるOリング用のゴム材質です。


白色フィラーによってラジカルガスアタックを受け難くなることから、半導体や液晶などの製造プロセスのプラズマ環境(エッチングやCVDなど)でコンタミネーションを抑制するのに適しており、チタンなどの重金属を一切含まないことから、特にドライエッチングで用いられるCFやCCl4、O2に対し、フロロパワーFFNに次ぐ優秀な低パーティクル性を発揮します。また、耐薬品性が要求される環境に於いて、より安全な識別管理を目的にフロロパワーFFの代替として採用されたり、黒色物質を嫌う特殊薬品の生産設備で使用されたりもしています。

 

多くのパーフロ材質は機械特性を弱点としており、特に白色配合では特に白色配合ではカーボンブラック不使用による補強効果の低下が、その弱点をより顕著にしてしまう傾向があります。しかしフロロパワーFFWに於いては、良好な機械特性を持つパーフロポリマーをベースに長期に亘る配合研究を重ねた結果、フロロパワーFFには劣るものの、一般的なパーフロ(黒)材質との比較では同等以上の性能を保持させることに成功しております。

 

 * Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

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化学構造

フロロパワーFFと同じく、4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ素化合物で炭化水素結合が無いことから、非常に優れた耐薬品性や耐腐食ガス性、耐熱性を有しています。尚、元来FFKM材料は加硫しない構造をしており、Oリング等として成形することは出来ません。CSM部分はその問題を解消する為の補助脚として付加されている重要な部分で、原料メーカー各社(フロロパワーFFWではAGC旭硝子社)が耐薬品性などに影響が出ない構造物を独自に開発しております。現在、全てのメーカーはその部分を非公開としています。 FP-FFW.png
CSM:Cure Site Monomer

 

 

関連する法規制等

  • 食品衛生法(厚生労働省告示第595号 旧厚生省告示第370号 ゴム製の器具又は容器包装)に適合しています。
  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6+, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。

フロロパワーFFW(パーフロ白/白色FFKM)の特性値や物性値

フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質は、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として取り扱う場合は、ご使用の条件などを注意深くご確認ください。


フロロパワーFFWの測定値

試験種類 項目 フロロパワーFFW A社パーフロ(参考) B社パーフロ(参考)
常態物性試験 硬度 (JIS-A) 80 82 77
引張強さ (MPa) 19.9 16.3 12.5
伸び率 (%) 250 159 190
100%引張応力 (MPa) 6.38 7.5 6.1
耐熱老化試験 試験条件 230℃ x 70時間 200℃ x 70時間
硬さ変化 +4 -2
引張強さ変化率 (%) +25 -8
伸び変化率 (%) -12 +11
圧縮永久歪み試験 試験条件 200℃ x 70時間 常温 x 70時間 200℃ x 70時間
圧縮永久歪み率 (%) 37 42 35

 

 

使用温度範囲

推奨値は0〜230℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪くなる為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。

 

 

圧力特性

最高圧力の推奨値は4MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性バックアップリングの併用で向上させることが出来ます。

 

 

耐薬品性

極めて優れており、あらゆる薬品に使用することが可能です。Oリングの耐薬品性 (接触流体と材質の適合性)にてより多くの液体や気体に対する耐性の一覧を掲載しておりますので、下表と併せて参考にして下さい。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトアルデヒド ジメチルアセトアミド
アセトン ジエチルエーテル
アニリン 重油
アンモニア水 シンナー
IPA スピンドル油
エタノール 100℃水蒸気
エチレングリコール テトラクロロエチレン
エチレンジアミン テトラヒドロフラン
N-メチル-2-ピロリドン 灯油
エマルジョン系作動油 トリクロロエチレン
塩酸
トルエン
エンジン油 動物油
王水
ブチルアセテート
過酸化水素水 フッ酸
苛性カリ フレオンR134a ×
苛性ソーダ 不活性フッ素オイル ×
ガソリン ブレーキ油
カップグリス ヘキサン
ギア油 ベンゼン
キシレン ホルマリン
軽油 マシン油
クロロホルム
ケロシン 水系切削油
酢酸 メタノール
酢酸エチル MEK
硝酸 メチルイソブチルケトン
植物油 モノエタノールアミン
次亜塩素酸ソーダ ラッカー
ジオキサン リン酸エステル系作動油
四塩化炭素 硫酸
ジクロロメタン リチウムグリス
シリコングリス 鉱油系冷凍機油

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない X:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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フロロパワーFFW(パーフロ白/白色FFKM)の使用について

主な使用箇所

  • 半導体・液晶等製造装置のゲートバルブ
  • 半導体・液晶等製造装置の排気継手
  • 半導体・液晶等製造装置の静電チャック
  • 半導体・液晶等製造装置のチャンバー内接合部
  • 食品製造装置のシール材
  • 化学プラントに用いるシール材
  • 塗装機器のシール材

 

 

取扱注意点

  • 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
  • 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
  • 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
  • 適さない流体との接触には十分注意して下さい。

 

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