フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質の低溶出タイプであるフロロパワーFFPは、高純度薬品や高純度プロセスでの使用を目的として開発された、極低溶出性のOリング用のゴム材質です。特殊配合とクリーン化された製造工程によって洗浄工程を必要とせずに極めて優秀な低溶出性を実現しており、アセトンやMEK、トルエンのような溶解性の高い液体に対する金属イオン(3周期以降の元素)の溶出量が、最も溶出量が多くなる接液の初期段階に於いても製品重量当たり0.5ppb(0.00000005%)未満となるように設計(参考データ)されています。基材のFFKM(パーフロ)に由来する有機溶剤に対する耐性と合わせ、半導体ウェット工程の薬品シール材として最高峰の性能を有すゴム材質です。同じく極低溶出グレードとしてラインナップされているフロロパワーAPP(極低溶出FEPM >10ppb未満)、フロロパワーDEP(極低溶出FFKM-E >10ppb未満)、及びフロロパワーFOP(極低溶出FFKO >3ppb未満)と併せ、高純度薬品の製造や半導体用の洗浄装置などで高い効果を発揮します。
尚、フロロパワーFFPの最大の特徴は、桜シール独自の配合技術により、全ての溶出因子が抑止された極低溶出性です。素手で製品に触れるなどするとナトリウムやカルシウムといった不純物が付着し、溶出の原因となります。桜シールによる梱包はご使用の直前まで開封することなく維持し、製品を取り出す際にも細心の注意を払うようにして下さい。
* Oリング以外でも様々な形状の製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
* フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。
化学構造
フロロパワーFF同様、4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物で
す。主鎖の全てがフッ素結合(C−F)で炭化水素結合(C−H)が無いことから、非常に優れた耐薬品性や耐熱性を有します。しかし全体的に殆どフッ素化されていることから架橋が難しい為、補助脚としてCSMが付加されています。
関連する法規制等
フロロパワーFFPと溶出試験
フロロパワーFFPに対して行われた溶出試験のデータを一部公開いたします。
含有金属量の試験データ (単位:ppb) | |||||||||||||||||
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試験 条件 | 液体の種類: 塩酸 (HCl) 3.4% 液体の温度: 常温 (RT) 液 量: 100cc 試 験 片: P-26 サンプル数 N: 3個 浸 漬 時 間: 24時間(1日) 及び 168時間(1週間) 試 験 方 法: 灰化法 ICP-MS | ||||||||||||||||
元素 (1) | 記号 | Li | Na | Mg | Al | K | Ca | Ti | Cr | ||||||||
和名 | リチウム | ナトリウム | マグネシウム | アルミニウム | カリウム | カルシウム | チタン | クロム | |||||||||
英名 | Lithium | Sodium | Magnesium | Aluminium | Potassium | Calcium | Titanium | Chromium | |||||||||
浸漬 時間 (h) | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | |
試料 | No.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.21 | <0.1 | <0.1 | 0.23 | 0.13 | <0.1 | 0.17 | 0.22 | 0.17 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
No.2 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.14 | 0.11 | <0.1 | <0.1 | 0.21 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | |
No.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.1 | 0.18 | 0.14 | <0.1 | <0.1 | 0.22 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | |
平均値 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.2 | <0.13 | <0.1 | <0.1 | <0.22 | <0.12 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
元素 (2) | 記号 | Mn | Fe | Ni | Cu | Zn | Ag | Cd | Pb | ||||||||
和名 | マンガン | 鉄 | ニッケル | 銅 | 亜鉛 | 銀 | カドミウム | 鉛 | |||||||||
英名 | Manganese | Iron | Nickel | Copper | Zinc | Silver | Cadmium | Lead | |||||||||
浸漬 時間 (h) | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | |
試料 | No.1 | <0.1 | <0.1 | 0.1 | 0.13 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
No.2 | <0.1 | <0.1 | 0.14 | 0.13 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | |
No.3 | <0.1 | <0.1 | 0.14 | 0.31 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | |
平均値 | <0.1 | <0.1 | <0.13 | <0.19 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
試験種類 | 項目 | フロロパワーFFP |
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常態物性試験 | 硬度 (JIS-A) | 75 |
引張強さ (MPa) | 20.8 | |
173 | ||
100%引張応力 (MPa) | 9.2 | |
耐熱老化試験 | 試験条件 | 200℃×70時間 |
硬さ変化 | -1 | |
引張強さ変化率 (%) | -5 | |
伸び変化率 (%) | +4 | |
試験条件 | 200℃×70時間 | |
圧縮永久歪み率 (%) | 18 |
使用温度範囲
推奨値は0〜230℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪化する為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。
圧力特性
最高圧力の推奨値は5MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性はバックアップリングの併用で向上させることが出来ます。
耐薬品性
極めて優秀です。あらゆる薬品に耐性を有し、様々なゴム材質の中でも秀でています。Oリングの耐薬品性(接触流体と材質の適合性)に於いてより多くの液体や気体に対する耐久性の一覧を掲載しておりますので、下表と併せて参考にして下さい。
薬品名 | 耐性 | 薬品名 | 耐性 |
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アセトアルデヒド | ◎ | ジメチルアセトアミド | ◎ |
アセトン | ◎ | ジエチルエーテル | ◎ |
アニリン | ◎ | 重油 | ◎ |
アンモニア水 | ◎ | シンナー | ◎ |
IPA | ◎ | スピンドル油 | ◎ |
エタノール | ◎ | 100℃水蒸気 | ◎ |
エチレングリコール | ◎ | テトラクロロエチレン | 〇 |
エチレンジアミン | ◎ | テトラヒドロフラン | ◎ |
N-メチル-2-ピロリドン | ◎ | 灯油 | ◎ |
エマルジョン系作動油 | ◎ | トリクロロエチレン | 〇 |
塩酸 | ◎ | トルエン | ◎ |
エンジン油 | ◎ | 動物油 | ◎ |
王水 | ◎ | ブチルアセテート | ◎ |
過酸化水素水 | ◎ | フッ酸 | ◎ |
苛性カリ | ◎ | フレオンR134a | × |
苛性ソーダ | ◎ | 不活性フッ素オイル | × |
ガソリン | ◎ | ブレーキフルード(エーテル系) | ◎ |
カップグリス | ◎ | ヘキサン | ◎ |
ギア油 | ◎ | ベンゼン | ◎ |
キシレン | ◎ | ホルマリン | ◎ |
軽油 | ◎ | マシン油 | ◎ |
クロロホルム | 〇 | 水 | ◎ |
ケロシン | ◎ | 水系切削油 | ◎ |
酢酸 | ◎ | メタノール | ◎ |
酢酸エチル | ◎ | MEK | ◎ |
硝酸 | ◎ | メチルイソブチルケトン | ◎ |
植物油 | ◎ | モノエタノールアミン | ◎ |
次亜塩素酸ソーダ | ◎ | ラッカー | ◎ |
ジオキサン | ◎ | リン酸エステル系作動油 | ◎ |
四塩化炭素 | 〇 | 硫酸 | ◎ |
ジクロロメタン | ◎ | リチウムグリス | ◎ |
シリコングリス | ◎ | 冷凍機油(鉱物系) | ◎ |
◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない ×:使用不可
注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。
主な使用箇所
取扱注意点
〒130-0021
東京都墨田区緑3丁目4番10号
桜シール本社ビル