フロロパワーFFDR(耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/下級)の概要

フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM材質の耐プラズマ・O2ラジカル用の下級グレードであるフロロパワーFFDR(Fluoro-Power FFDR/FP-FFDR)は、ラジカル化したプロセスガスに因るクラックや重量減少を抑制しつつ、パーティクル汚染を防止できる耐プラズマ性を備えたOリング用ゴム材質です。特に酸素(O2)ラジカルは、ハロゲン元素で構成された反応性ガス(CF4, NF3, HBr, CL2, NH3, SiH4など)ラジカルと比較して、Oリングに含まれる原料ゴムや充填剤に強く悪影響を及ぼします。その為、酸素プラズマ用途では、耐プラズマ性に優れたゴム材質の中でも酸素ラジカル耐性に焦点を当てた特殊グレードの選択を推奨しています。

フロロパワーFFDRは、耐プラズマ・O2ラジカル用FFKMの中級グレードであるフロロパワーFFRの廉価版に当たります。腐食性ガス性への耐性耐熱性と併せ、プロセスガス(O2、並びにCF4、NF3、HBr、CL2、NH3、SiH4など)のラジカルアタックにある程度の耐性を持ちます。また動的箇所での使用にも適しており、帯電性が低くパーティクル吸着も抑えられるので、半導体製造のエッチング装置やCVDプロセス装置の配管継手、或いはディスプレイ製造のエッチング装置やCVDプロセス装置のゲートバルブなどのシール材として活躍しています。

尚、フロロパワーFFDRは、ディスプレイ製造などの電子産業に向けてプラズマ耐性を基軸に開発されたゴム材質です。機械的性質など、一般的な工業用途には積極的な配慮が為されていない組成がありますので、使用環境や目的に応じた適切なものを選択するようにして下さい。

 

 * Oリング以外でも様々な形状の製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

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化学構造

CSM:Cure Site Monomer

4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ
素化合物で炭化水素結合が無い為、高温や腐食性ガスに対する耐性を有します。また、全体的に殆どフッ素化されている構造を持ちながら、補助脚のCSMに拠って架橋を促すことが可能になっています。

 

関連する法規制等

  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6⁺, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。
  • TSCA PBT5物質(DecaBDE、2,4,6-TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP)の意図的な添加は行っておりません。

フロロパワーFFDR(耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/下級)の特性値や物性値

フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質には、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として検討する際は、十分に注意して下さい。

 

耐プラズマ性の評価試験(特定条件下での重量変化率)

フロロパワーFFDRのものではありませんが、耐プラズマ性に優れるグレードの中でも酸素(O2)ラジカル耐性で上位互換の2材質(フロロパワーFFT、並びにフロロパワーFFR)に対して行った耐プラズマ性の評価試験データを、参考として掲載します。

プロセスガス(O2CF4)の混合比率=20:1 RF power:2.5kw 試験時間:30時間

 

プロセスガス(O2NF3HBr)の混合比率=1:1:1 RF power:1.5kw 試験時間:30時間

 

 

 フロロパワーFFDRの測定値

試験種類 項目 フロロパワーFFDR 他社① 他社② 他社③
常態物性試験 硬さ (JIS-A) 69 69 70 73
引張強さ (MPa) 13.2 15.95 15.67 13.27

伸び率 (%)

211 246 238 223
100%引張応力 (MPa) 3.9 2.88 5.17 3.63
耐熱老化試験 試験条件 200℃×70時間 N/A N/A N/A
硬さ変化 1 N/A N/A N/A
引張強さ変化率 (%) -10 N/A N/A N/A
伸び変化率 (%) 1 N/A N/A N/A

圧縮永久歪み試験

試験条件 200℃×70時間 204℃×70時間 204℃×70時間 204℃×70時間
圧縮永久歪み率 (%) 35 15 18 15

使用温度範囲

推奨値は0~230℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性を失い易く、シール性に悪影響を及ぼすことがあります。ご注意ください。

 

耐薬品性

反応性ガスに対する耐性は非常に優れていますが、一般的なFFKMよりも耐薬品性は劣ります。フロロパワーFFDRは、耐プラズマ用途を念頭に開発されたものです。一般的なOリングとは異なる使用環境が想定されていることからOリングの耐薬品性(接触流体と材質の適合性)には掲載しておりませんので、下表を参考にして下さい。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトン × ジメチルアセトアミド
アニリン テトラヒドロフラン ×
アンモニア水 トルエン
IPA フッ酸
エタノール フレオンR134a ×
塩酸 不活性フッ素オイル ×
王水 ヘキサン
過酸化水素水 ベンゼン
苛性カリ ホルマリン
苛性ソーダ メタノール
酢酸 硫酸
硝酸 NF3
BCl3 SF6
CF4 SiF4
CHF3 SiH4
ClF3 TEOS
HBr Ti2Cl4

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない ×:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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フロロパワーFFDR(耐プラズマ・O2ラジカル用FFKM/下級)の使用について

主な使用箇所

  • 半導体製造エッチング装置やCVD装置の配管接手
  • ディスプレイ製造エッチング装置やCVD装置のゲートバルブ
  • ディスプレイ製造エッチング装置やCVD装置のドアバルブ
  • ディスプレイ製造エッチング装置やCVD装置のカソード
  • ディスプレイ製造エッチング装置やCVD装置の配管継手

 

取扱注意点

  • 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
  • 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
  • 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
  • 適さない流体との接触には十分注意して下さい。

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