Oリングからより良い社会の実現へ
フロロパワーDEP（極低溶出バイトンETP）の概要
フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM-E（バイトンETP）ゴム材質の低溶出タイプであるフロロパワーDEPは、高純度薬品や高純度プロセスでの使用を目的として開発された、極低溶出性のOリング用のゴム材質です。特殊配合とクリーン化された製造工程によって洗浄工程を必要とせずに極めて優秀な低溶出性を実現しており、アセトンやトルエン、メタノールのような溶解性の高い液体に対する金属イオン（3周期以降の元素）の溶出量が、最も溶出量が多くなる接液の初期段階に於いても製品重量当たり10ppb（0.000001％）未満となるように設計（参考データ）されています。基材のFFKM-E（バイトンETP）に由来する有機溶剤に対する耐性から、半導体用レジスト液のシール材などに適した材質です。同じく極低溶出グレードとしてラインナップされているフロロパワーAPP（極低溶出FEPM >10ppb未満）、フロロパワーFOP（極低溶出FFKO >3ppb未満）、及びフロロパワーFFP（極低溶出FFKM＞0.5ppb未満）と併せ、高純度薬品の製造や半導体用の洗浄装置などで高い効果を発揮します。
尚、フロロパワーDEPの最大の特徴は、桜シール独自の配合技術によって全ての溶出因子が抑止された極低溶出性です。素手で製品に触れるなどするとナトリウムやカルシウムといった不純物が付着し、溶出の原因となります。桜シールによる梱包はご使用の直前まで開封することなく維持し、製品を取り出す際にも細心の注意を払うようにして下さい。
* Oリング以外でも様々な形状の製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
* フロロパワー（Fluoro-Power）®は、桜シール株式会社の登録商標です。
>>>フロロパワーシリーズ（高機能材）
>>>材質の一覧（ラインナップと性能）
>>>材質名称の対比（規格／メーカー）
化学構造
エチレン・4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル3元共重合体です。FFKMにエチレンを付加した構造は、言い換えればFFKMをエチレンで水増ししたような状態で、エチレンが炭化水素物質であることから有機溶剤に対する性能はFFKMよりも低下しているものの、高価なフッ素化合物の濃度が下がることで価格優位性が向上しています。また、分子構造上の密度が下がることから圧縮永久歪みが劣る傾向がありますが、架橋の構造が強固なので、機械的性質は優れています。
関連する法規制等
フロロパワーDEP（極低溶出バイトンETP）の特性値や物性値
フロロパワーDEPと溶出試験
| 含有金属量の試験データ （単位：ppb） | |||||||||||||||||
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| 試験 条件 | 液体の種類： 塩酸 （HCl） 3.4％ 液体の温度： 常温 （RT） 液 量： 100cc 試 験 片： P-26 サンプル数 N： 3個 浸 漬 時 間： 24時間（1日） 及び 168時間（1週間） 試 験 方 法： 灰化法 ICP-MS （誘導結合プラズマ質量分析計） | ||||||||||||||||
| 元素 (1) | 記号 | Li | Na | Mg | Al | K | Ca | Ti | Cr | ||||||||
| 和名 | リチウム | ナトリウム | マグネシウム | アルミニウム | カリウム | カルシウム | チタン | クロム | |||||||||
| 英名 | Lithium | Sodium | Magnesium | Aluminium | Potassium | Calcium | Titanium | Chromium | |||||||||
| 浸漬 時間 (h) | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | |
| 試料 | No.1 | <0.1 | <0.1 | 0.5 | <0.1 | 0.4 | <0.1 | 0.8 | 0.1 | 0.5 | <0.1 | 2.3 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| No.2 | <0.1 | <0.1 | 1.4 | 0.1 | 0.4 | 0.1 | 0.6 | 0.2 | 0.6 | <0.1 | 2.2 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | |
| No.3 | <0.1 | <0.1 | 1.1 | 0.2 | 0.3 | <0.1 | 0.6 | 0.1 | 0.5 | <0.1 | 2.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | |
| 元素 (2) | 記号 | Mn | Fe | Ni | Cu | Zn | Ag | Cd | Pb | ||||||||
| 和名 | マンガン | 鉄 | ニッケル | 銅 | 亜鉛 | 銀 | カドミウム | 鉛 | |||||||||
| 英名 | Manganese | Iron | Nickel | Copper | Zinc | Silver | Cadmium | Lead | |||||||||
| 浸漬 時間 (h) | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | 24 | 168 | |
| 試料 | No.1 | <0.1 | <0.1 | 1.6 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.2 | <0.1 | 0.4 | 0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 |
| No.2 | <0.1 | <0.1 | 1.5 | 0.5 | 0.3 | <0.1 | 0.4 | <0.1 | 0.6 | 0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | |
| No.3 | <0.1 | <0.1 | 1.8 | 0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | 0.7 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | <0.1 | |
※ 素手で製品に触れるなどすると、ナトリウムやカルシウムといった不純物が付着する原因となります。桜シールによる梱包はご使用の直前まで開封することなく維持し、製品を取り出す際にも細心の注意を払うようにして下さい。
フロロパワーDEPの測定値
| 試験種類 | 項目 | フロロパワーDEP |
|---|---|---|
| 常態物性試験 | 硬さ (JIS-A) | 75 |
| 引張強さ (MPa) | 14.9 | |
| 伸び率 (％) | 345 | |
| 100％引張応力 (MPa) | 5.4 | |
| 耐熱老化試験 | 試験条件 | 200℃×70時間 |
| 硬さ変化 | +1 | |
| 引張強さ変化率 (％) | +17 | |
| 伸び変化率 (％) | -9 | |
| 圧縮永久歪み試験 | 試験条件 | 175℃×22時間 |
| 圧縮永久歪み率 (％) | 36 |
使用温度範囲
推奨値は０〜２００℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪化する為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。
圧力耐性
最高圧力の推奨値は３MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性はバックアップリングの併用で向上させることが出来ます。
耐薬品性
無機薬品や極性溶剤に優れた耐性を有しますが、一部のエーテル系溶剤やアミン系溶剤などには適していません。Oリングの耐薬品性（接触流体と材質の適合性）に於いてより多くの液体や気体に対する耐久性の一覧を掲載しておりますので、下表と併せて参考にして下さい。
| 薬品名 | 耐性 | 薬品名 | 耐性 |
|---|---|---|---|
| アセトアルデヒド | 〇 | ジメチルアセトアミド | ◎ |
| アセトン | 〇 | ジエチルエーテル | 〇 |
| アニリン | ◎ | 重油 | ◎ |
| アンモニア水 | ◎ | シンナー | 〇 |
| IPA | ◎ | スピンドル油 | ◎ |
| エタノール | ◎ | 100℃水蒸気 | ◎ |
| エチレングリコール | ◎ | テトラクロロエチレン | △ |
| エチレンジアミン | 〇 | テトラヒドロフラン | △ |
| N-メチル-2-ピロリドン | 〇 | 灯油 | ◎ |
| エマルジョン系作動油 | ◎ | トリクロロエチレン | △ |
| 塩酸 | ◎ | トルエン | ◎ |
| エンジン油 | ◎ | 動物油 | ◎ |
| 王水 | ◎ | ブチルアセテート | △ |
| 過酸化水素水 | ◎ | フッ酸 | 〇 |
| 苛性カリ | ◎ | フレオン R134a | × |
| 苛性ソーダ | ◎ | フッ素オイル | × |
| ガソリン | ◎ | ブレーキフルード（エーテル系） | 〇 |
| カップグリス | ◎ | PGMEA | ◎ |
| ギヤ油 | ◎ | ヘキサン | 〇 |
| キシレン | ◎ | ベンゼン | 〇 |
| 軽油 | ◎ | ホルマリン | 〇 |
| クロロホルム | △ | マシン油 | ◎ |
| ケロシン | ◎ | 水系切削油 | ◎ |
| 酢酸 | 〇 | メタノール | ◎ |
| 酢酸エチル | 〇 | MEK | 〇 |
| 硝酸 | ◎ | メチルイソブチルケトン | 〇 |
| 植物油 | ◎ | モノエタノールアミン | 〇 |
| 次亜塩素酸ソーダ | ◎ | ラッカー | 〇 |
| ジオキサン | △ | りん酸エステル系作動油 | ◎ |
| 四塩化炭素 | △ | 硫酸 | ◎ |
| ジクロロメタン | 〇 | リチウムグリス | ◎ |
| シリコングリス | ◎ | 鉱油系冷凍機油 | ◎ |
◎：使用可 〇：多少の影響有り △：あまり推奨しない ×：使用不可
注）上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。
フロロパワーDEP（極低溶出バイトンETP）の使用について
主な使用箇所
- 高純度薬品製造装置
- 半導体用洗浄装置
- 半導体ウェット工程装置
- 高純度薬品用ポンプ、バルブ、継手
- 半導体洗浄装置用ポンプ、バルブ、継手
取扱注意点
- 素手で製品に触れるなどすると、ナトリウムやカルシウムといった不純物が付着する原因となります。桜シールによる梱包はご使用の直前まで開封することなく維持し、製品を取り出す際にも細心の注意を払うようにして下さい。
- 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
- 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
- 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
- 適さない流体との接触には十分注意して下さい。
桜シール株式会社
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