フロロパワーFFP(極低溶出 FFKM/パーフロ)の概要

フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質の低溶出タイプであるフロロパワーFFPは、高純度薬品や高純度プロセスでの使用を目的として開発された、極低溶出性Oリング用のゴム材質です。特殊配合とクリーン化された製造工程によって洗浄工程を必要とせずに極めて優秀な低溶出性を実現しており、アセトンやMEK、トルエンのような溶解性の高い液体に対する3周期以降の元素の溶出量が、最も溶出量が多くなる接液の初期段階に於いても製品重量当たり0.5ppb(0.00000005%)未満となるように設計(参考データ)されています。基材のFFKM(パーフロ)に由来する有機溶剤に対する耐性と合わせ、半導体ウェット工程の薬品シール材として最高峰の性能を有すゴム材質です。同じく極低溶出グレードとしてラインナップされているフロロパワーAPP(極低溶出FEPM >10ppb未満)フロロパワーDEP(極低溶出FFKM-E >10ppb未満)、及びフロロパワーFOP(極低溶出FFKO >3ppb未満)と併せ、高純度薬品の製造や半導体用の洗浄装置などで高い効果を発揮します。

尚、フロロパワーFFPの最大の特徴は、桜シール独自の配合技術によって全ての溶出因子が抑止された極低溶出性です。素手で製品に触れるなどするとナトリウムやカルシウムといった不純物が付着し、溶出の原因となります。桜シールによる梱包はご使用の直前まで開封することなく維持し、製品を取り出す際にも細心の注意を払うようにして下さい。

 * Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

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>>>材質の一覧(ラインナップと性能)
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化学構造

CSM:Cure Site Monomer

フロロパワーFF同様、4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物で
す。主鎖の全てがフッ素結合(C−F)で炭化水素結合(C−H)が無いことから、非常に優れた耐薬品性や耐熱性を有します。しかし全体的に殆どフッ素化されていることから
架橋が難しい為、補助脚としてCSMが付加されています。

 

関連する法規制等

  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6+, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。
  • TSCA PBT5物質(DecaBDE、2,4,6TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP)の意図的な添加は行っておりません。

フロロパワーFFP(極低溶出 FFKM/パーフロ)の特性値や物性値

フロロパワーFFPと溶出試験

フロロパワーFFPに対して行われた溶出試験のデータを一部公開いたします。

含有金属量の試験データ
(単位:ppb)
試験
条件
 液体の種類: 塩酸 (HCl) 3.4%
 液体の温度: 常温 (RT)
 液   量: 100cc
 試 験 片: P-26
 サンプル数 N: 3個
 浸 漬 時 間: 24時間(1日) 及び 168時間(1週間)
 試 験 方 法: 灰化法 ICP-MS 
元素
(1)
記号 Li Na Mg Al K Ca Ti Cr
和名 リチウム ナトリウム マグネシウム アルミニウム カリウム カルシウム チタン クロム
英名 Lithium Sodium Magnesium Aluminium Potassium Calcium Titanium Chromium
浸漬
時間 (h)
24 168 24 168 24 168 24 168 24 168 24 168 24 168 24 168
試料 No.1 <0.1 <0.1 <0.1 0.21 <0.1 <0.1 0.23 0.13 <0.1 0.17 0.22 0.17 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
No.2 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 0.14 0.11 <0.1 <0.1 0.21 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
No.3 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 0.1 0.18 0.14 <0.1 <0.1 0.22 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
平均値 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.2 <0.13 <0.1 <0.1 <0.22 <0.12 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
元素
(2)
記号 Mn Fe Ni Cu Zn Ag Cd Pb
和名 マンガン ニッケル 亜鉛  カドミウム
英名 Manganese Iron Nickel Copper Zinc Silver Cadmium Lead
浸漬
時間 (h)
24 168 24 168 24 168 24 168 24 168 24 168 24 168 24 168
試料 No.1 <0.1 <0.1 0.1 0.13 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
No.2 <0.1 <0.1 0.14 0.13 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
No.3 <0.1 <0.1 0.14 0.31 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1
平均値 <0.1 <0.1 <0.13 <0.19 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1 <0.1

※ 素手で製品に触れるなどすると、ナトリウムやカルシウムといった不純物が付着する原因となります。桜シールによる梱包はご使用の直前まで開封することなく維持し、製品を取り出す際にも細心の注意を払うようにして下さい。

フロロパワーFFPの物性値

試験種類 項目 フロロパワーFFP
(測定値)
常態物性試験 硬度 (JIS-A) 75
引張強さ (MPa) 20.8

伸び率 (%)

173
100%引張応力 (MPa) 9.2
耐熱老化試験 試験条件 200℃×70時間
硬さ変化 -1
引張強さ変化率 (%) -5
伸び変化率 (%) +4

圧縮永久歪み試験

試験条件 200℃×70時間
圧縮永久歪み率 (%) 18

使用温度範囲

推奨値は0〜230℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪化する為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。

 

圧力特性

最高圧力の推奨値は5MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性バックアップリングの併用で向上させることが出来ます。

 

耐薬品性

極めて優秀です。あらゆる薬品に耐性を有し、様々なゴム材質の中でも秀でています。Oリングの耐薬品性(接触流体と材質の適合性)に於いてより多くの液体や気体に対する耐久性の一覧を掲載しておりますので、下表と併せて参考にして下さい。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトアルデヒド ジメチルアセトアミド
アセトン ジエチルエーテル
アニリン 重油
アンモニア水 シンナー
IPA スピンドル油
エタノール 100℃水蒸気
エチレングリコール テトラクロロエチレン
エチレンジアミン テトラヒドロフラン
N-メチル-2-ピロリドン 灯油
エマルジョン系作動油 トリクロロエチレン
塩酸 トルエン
エンジン油 動物油
王水 ブチルアセテート
過酸化水素水 フッ酸
苛性カリ フレオンR134a ×
苛性ソーダ 不活性フッ素オイル ×
ガソリン ブレーキ油
カップグリス ヘキサン
ギア油 ベンゼン
キシレン ホルマリン
軽油 マシン油
クロロホルム
ケロシン 水系切削油
酢酸 メタノール
酢酸エチル MEK
硝酸 メチルイソブチルケトン
植物油 モノエタノールアミン
次亜塩素酸ソーダ ラッカー
ジオキサン リン酸エステル系作動油
四塩化炭素 硫酸
ジクロロメタン リチウムグリス
シリコングリス 冷凍機油(鉱物系)

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない ×:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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フロロパワーFFP(極低溶出 FFKM/パーフロ)の使用について

主な使用箇所

  • 高純度薬品製造装置
  • ウェットプロセス用洗浄装置
  • ウェットプロセス装置
  • 高純度薬品用ポンプ、バルブ、継手
  • ウェットプロセス用ポンプ、バルブ、継手

 

取扱注意点

  • 素手で製品に触れるなどすると、ナトリウムやカルシウムといった不純物が付着する原因となります。桜シールによる梱包はご使用の直前まで開封することなく維持し、製品を取り出す際にも細心の注意を払うようにして下さい。
  • 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
  • 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
  • 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
  • 適さない流体との接触には十分注意して下さい。

 

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