フロロパワーDEW(バイトンETP白色)の概要

フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM-E(バイトンETP)ゴム材質の標準白色タイプであるフロロパワーDEW(Fluoro-Power DEW/FP-DEW)は、極性溶剤に対する耐性などの優秀な耐薬品性を有す、バイトンETPエクストリームを基材としたフロロパワーDEBの白色バージョンに当たるOリング用のゴム材質です。充填材(フィラー)にカーボンブラックが含まれていないことからパーティクルによる汚染が少なく、パーフロロエラストマー(FFKM)による材質と比較すると性能面では劣るものの低価格なので、プラズマ(ラジカル化した反応性ガス)環境ではフロロパワーFFWの下位互換として有効です。

 * Oリング以外でも様々な形状の製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

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化学構造

エチレン・4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルビニルエーテル3元共重合体です。FFKMにエチレンを付加した構造は、言い換えれば高価格なFFKMをエチレンで水増ししたような状態であり、全体的に優秀な耐薬品性を維持しながら低価格を実現しています。但し、エチレンは炭化水素化合物なので、FFKMと比べて有機溶剤に対する性能は低下します。また、分子構造上の密度が低く、圧縮永久歪みが劣る傾向があります。尚、架橋の構造が強固なので、補強性の充填材であるカーボンブラックが使用されていないながら、比較的良好な機械的性質を有しています。

 

関連する法規制等

  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6⁺, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。尚、Br化合物を用いている部分があるため、分析調査を行うとBrが検出されることが有りますが、臭素系難燃剤PBB、PBDEは使用しておりません。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。
  • TSCA PBT5物質(DecaBDE、2,4,6-TTBP、PIP(3:1)、HCBD、PCTP)の意図的な添加は行っておりません。

フロロパワーDEW(バイトンETP白色)の特性値や物性値

フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質は、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として取り扱う場合は、ご使用の条件などを注意深くご確認ください。

 

フロロパワーDEWの測定値

試験種類 項目

フロロパワーDEW

常態物性試験 硬度 (JIS-A) 74
引張強さ(MPa) 12.2
伸び率(%) 352
100%引張応力(MPa) 3.4
耐熱老化試験 試験条件 200℃×70時間
硬さ変化 +1
引張強さ変化率(%) +23
伸び変化率(%) -30
圧縮永久歪み試験 試験条件 175℃×22時間
圧縮永久歪み率(%) 37

使用温度範囲

推奨値は0〜180℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪化する為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。

 

圧力特性

推奨最高圧力は3MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性バックアップリングの併用で向上させることが出来ます。

 

耐薬品性

耐強酸性や耐強アルカリ性ほか、無機薬品や極性溶剤に対する耐久性も備えていますが、エーテル系溶剤やアミン系の溶剤にはFFKM程の適性はありません。Oリングの耐薬品性(接触流体と材質の適合性)に於いてより多くの液体や気体に対する耐久性の一覧を掲載しておりますので、下表と併せて参考にして下さい。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトン テトラクロロエチレン
アンモニアガス テトラブロモエタン
アンモニア水 トリクロロエチレン
IPA テトラヒドロフラン
エタノール トルエン
N-メチル-2-ピロリドン トリエチルアミン
塩酸 二塩化硫黄
塩素 ニトロベンゼン
塩素水 ブチルアセテート
苛性カリ フッ酸
苛性ソーダ フレオンR134a ×
キシレン フレオンR143a ×
クロロホルム フレオンR410a ×
酢酸 ペンタクロロベンゼン
酢酸エチル MEK
硝酸 メチルイソブチルケトン
四塩化炭素 メチルセルロース
ジエチルエーテル 硫化水素
臭素 硫酸
シンナー 六フッ化硫黄
BCl3 NF3
CF4 SF6
CHF3 SiF4
ClF3 SiH4
HBr TEOS
NH4F Ti2Cl4

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない ×:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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フロロパワーDEW(バイトンETP白色)の使用について

主な使用箇所

  • 半導体製造エッチング装置、CVD装置の配管継手
  • 半導体製造エッチング装置、CVD装置のチャンバーリッド
  • ディスプレイ製造装置のゲートバルブ
  • ディスプレイ製造装置のドアバルブ
  • ディスプレイ製造装置の配管継手

 

取扱注意点

  • 耐候性に優れ、光や熱による外部影響を受けにくい材質ではありますが、念のため湿度の低い冷暗所で保存して下さい。
  • 負荷が掛からない状態で保存して下さい。伸長や圧縮状態で保存すると変形や亀裂が発生しやすくなります。
  • 推奨温度や圧力を超えてのご使用は、急激な劣化を起こします。ご注意下さい。
  • 適さない流体との接触には十分注意して下さい。

 

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