桜シール株式会社【Oリングの製造・販売】
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フロロパワーFFSW(耐熱・白色 FFKM/パーフロ)の概要

フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質の耐熱白色タイプであるフロロパワーFFSW(Fluoro-Power FFSW/FP-FFSW)は、原材料パーフルオロエラストマー(FFKM)が用いられているOリング用の各種ゴム材質の中でも、耐熱黒色タイプのフロロパワーFFSと並んでトップグレードの高機能ゴム材質です。現行のゴム材質では最高峰に位置する330℃クラスの耐熱性と極めて優秀な耐薬品性を兼ね備え、更に機械的性質を犠牲にすることなくノンカーボン化を実現しています。

 

フロロパワーFFSWは、半導体をはじめとする電子産業での高温プラズマ環境に於いてプロセス品質を向上させ、且つOリングの長期間に亘る使用を可能とする性能を有しています。特にCVDプロセスや拡散プロセスで重視される高温やラジカル、腐食性ガスに対する耐久性能が秀でていることが、プロセスへの影響、並びにOリングの交換頻度を最小限に抑えることに直接的に寄与し、延いては全体的な生産効率の向上に貢献いたします。また、高温条件下でも良好な圧縮永久歪み率を維持するだけでなく、耐圧性ほか機械的性質にも優れていることから動的部分での使用にも適しており、電子産業に限らず幅広い分野で活躍できる素質を持った特別なゴム材質です。

 

尚、パーフロ(FFKM)材質の「耐熱・白色」グレードに於ける旧タイプのフロロパワーFFHWとの比較では、殆ど全ての性能について新タイプであるフロロパワーFFSWの方が勝っています。但し、CVDプロセスでの使用に於いては、LP-CVDやSA-CVDではフロロパワーFFSWやフロロパワーFFNがより優れた性能を発揮する反面、HDP-CVDやPE-CVDでは、一部ではありますがフロロパワーFFHWの方が相性の良いケースも確認されています。プラズマ環境では微妙な相性が寿命を左右することも御座いますので、必要に応じてご相談ください。

 

 * Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

>>>お問い合わせ

>>>販売(Oリング.com)

>>>フロロパワーシリーズ(高機能材)

>>>材質の一覧(ラインナップと性能)

>>>材質名称の対比(規格/メーカー)


化学構造

4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ素結合(C−F)で炭化水素結合(C−H)が無いことから、非常に優れた耐薬品性や耐熱性を有します。全体的に殆どフッ素化されている構造から架橋が難しい為、補助脚としてCSMが付加されています。
CSM:Cure Site Monomer

 

 

関連する法規制等



フロロパワーFFSW(耐熱・白色 FFKM/パーフロ)の特性値や物性値

フロロパワー(Fluoro-Power)🄬ほか、カルレッツ(Kalrez)🄬などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質には、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として取り扱う場合は、使用条件などを注意深く確認して下さい。

 

フロロパワーFFSWと長時間(1000時間)耐熱老化試験 

トップグレードの耐熱パーフロ(フロロパワーFFS及びフロロパワーFFSW)専用の特殊条件(260℃×最長1000時間)による耐熱老化試験のデータは、以下の通りです。尚、比較用で同時に試験を行ったFKM-70(4D)については、1000時間未満で破損してしまった為、測定不能となりました。

硬度変化の推移 引張強さ変化の推移 伸び変化の推移






フロロパワーFFSWの物性値

試験種類 項目
フロロパワーFFSW
(測定値)
常態物性試験 硬さ(JIS A) 81
引張強さ(MPa) 22.7
伸び率(%) 132
100%引張応力(MPa) 7.8
耐熱老化試験 試験条件 200℃×70時間
硬さ変化 0
引張強さ変化率(%) -1
伸び変化率(%) -2
圧縮永久歪み試験 試験条件 200℃×70時間
圧縮永久歪み率(%) 13

 

使用温度範囲

推奨値は0〜330℃です。但し、最高温度域での継続使用は熱硬化による破損が生じやすく、寿命が短くなります。また最低温度域ではゴム弾性が悪化する為、シール性が下がってしまいます。ご注意下さい。

 

圧力特性

最高圧力の推奨値は8MPaです。但し、諸条件によって数値は異なります。尚、耐圧性バックアップリングの併用で向上させることが出来ます。

 

耐薬品性

極めて優秀です。あらゆる薬品に耐性を有し、様々なゴム材質の中でも秀でています。Oリングの耐薬品性(接触流体と材質の適合性)に於いてより多くの液体や気体に対する耐久性の一覧を掲載しておりますので、下表と併せて参考にして下さい。

薬品名 耐性 薬品名 耐性
アセトアルデヒド ジメチルアセトアミド
アセトン ジエチルエーテル
アニリン 重油
アンモニア水 シンナー
IPA スピンドル油
エタノール 100℃水蒸気
エチレングリコール テトラクロロエチレン
エチレンジアミン テトラヒドロフラン
N-メチル-2-ピロリドン 灯油
エマルジョン系作動油 トリクロロエチレン
塩酸 トルエン
エンジン油 動物油
王水 ブチルアセテート
過酸化水素水 フッ酸
苛性カリ フレオンR134a ×
苛性ソーダ 不活性フッ素オイル ×
ガソリン ブレーキ油
カップグリス ヘキサン
ギア油 ベンゼン
キシレン ホルマリン
軽油 マシン油
クロロホルム
ケロシン 水系切削油
酢酸 メタノール
酢酸エチル MEK
硝酸 メチルイソブチルケトン
植物油 モノエタノールアミン
次亜塩素酸ソーダ ラッカー
ジオキサン リン酸エステル系作動油
四塩化炭素 硫酸
ジクロロメタン リチウムグリス
シリコングリス 鉱油系冷凍機油

◎:使用可 〇:多少の影響有り △:あまり推奨しない X:使用不可

注)上記は参考データです。温度や圧力、その他の条件によって使用可否は変化します。

 

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