桜シール株式会社【Oリングの製造・販売】
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フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズ−パーフロ材質/高機能フッ素ゴム材質

パーフロ(FFKM)シリーズをはじめとして、汎用のゴム材質では耐えることの出来ない過酷な使用環境を前提に開発された高機能ゴム材質の数々が、フロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズです。Oリングの保有する性能の多くは、ゴム材質(加硫ゴム)の特性に由来します。古い材質では対応することが出来なかった環境も、新しい材質の開発と技術進歩によって日々克服されています。より高度な性能要件を満たす最新鋭のパーフロ(FFKM)シリーズを筆頭に、より厳しい価格要求を満たすバイトンETP(FFKM-E)シリーズアフラス(FEPM)シリーズなど、フッ素化学技術と高分子設計技術の粋を集めた豊富なラインナップで、幅広いニーズにお応えいたします。

尚、桜シール社はOリングなどに用いるゴム材質の一部を、高分子材料で国内外に定評の高いAGC旭硝子社との協力で開発しています。現行のゴム材質として最高峰の耐熱性(Max330℃)と耐薬品性(全般)とを兼ね備えるトップグレードのフロロパワーFFSをはじめとする多くの材質は、同社から供給される原材料と広範に亘る研究データを素地に桜シール独自の配合技術を重ねることで開発された、信頼と努力の結晶です。

 * Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。

 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。




シリーズの分類と特色

シリーズ分類

(ショートカット)
パーフロ
(FFKM)
FF系列
バイトンETP
(FFKM-E)
DE系列
アフラス
(FEPM)
AP(旧AF)系列
3元系フッ素ゴム
(3元系FKM)
3F(一部D)系列
その他
(FVMQなど)
FQ/R系列
特色
(一部)

耐薬品:全般

耐熱:330℃ (FFSFFSW)

耐圧/ブリスター

耐プラズマ

耐薬品:極性溶剤

耐プラズマ

耐薬品:アミン

低硬度/半透明

極低溶出

耐熱:250℃ (3FH)

耐寒:−35℃ (DL)

耐圧/ブリスター

導電(DD)

耐寒:−70℃ (FQ)

耐プラズマ(APR)

 

シリーズの分類と耐薬品性

シリーズ分類

(ショートカット)
パーフロ
(FFKM)
FF系列
バイトンETP
(FFKM-E)
DE系列
アフラス
(FEPM)
AP(旧AF)系列
3元系フッ素ゴム
(3元系FKM)
3F(一部D)系列
参考比較
汎用フッ素ゴム

(2元系FKM)
5 5 4 4 2
アルカリ 5 5 5 1 0
極性溶剤 5 4 0 0 0
エーテル系溶剤 5 3 0 0 0
アミン系溶剤 4 2 5 0 0
水蒸気(スチーム) 5 5 5 5 0

0:×(使用不可)、1:△(あまり推奨しない)、2:○(多少の影響有り)、3:◎(使用可)、4:◎(優れた耐性)、5:◎(極めて優れた耐性)

>>>高機能材と名称の対比(主要メーカー)

>>>全ての材質一覧(ラインナップと性能)

>>>販売(Oリング.com)

>>>お問い合わせ




パーフロ(FFKM)シリーズ

フロロパワー(Fluoro-Power)® FF系列
パーフロとは、ゴム材料(原料ゴム)のひとつであるパーフルオロエラストマー(パーフロロゴム)のこと、若しくはそれを用いたゴム材質(加硫ゴム)のことを指す略称として、略号のFFKM(ASTM D 1418/ISO 1629/JIS K 6397)と並んで周知されている名称です。パーフロ(FFKM)シリーズは、現存するゴムに於いて最高峰の性能を数多く兼ね備え、その中でも殊更に優秀な耐薬品性耐熱性から、高機能ゴム材質の中心的な存在として広く使用されています。但し、フロロパワーシリーズの中でも特に高い性能に比例して高価なものが多いので、ご使用の環境と条件(温度・圧力・接触対象など)次第では、オーバースペックを避けた下位代替(FFKM-EシリーズFEPMシリーズ3元系FKMシリーズなど)の検討も推奨いたします。
耐薬品性(薬品の系統と耐性比較) ゴム材料の系統−原料ゴム
パーフルオロエラストマー(FFKM)

4フッ化エチレンパーフルオロメチルビニルエーテル共重合体


4フッ化エチレンパーフルオロアルキルビニルエーテル共重合体

* CSM=Cure Site Monomer 

材質名称
(その他、材質番号など) 
タイプと色調
(FFKMに於いて) 
温度範囲の目安
概要
(特徴)
低温側 高温側
フロロパワー® FF
<材質番号:7008>
Fluoro-Power FF
FP−FF
標準グレード
0℃ 230℃

パーフロ(FFKM)材質の「標準・黒色」グレードです。極めて優秀な耐薬品性と良好な機械的性質とを併せ持っています。

<半導体:ウェットプロセス>

フロロパワー® FFW

<材質番号:7017>

Fluoro-Power FFW
FP−FFW
白色グレード
0℃ 230℃

パーフロ(FFKM)材質の「標準・白色」グレードです。フロロパワーFFの白色タイプで、極めて優秀な耐薬品性を有しています。

<半導体:エッチング、CVD>

フロロパワー® FFS

<材質番号:7307>

Fluoro-Power FFS
FP−FFS
耐熱グレード
(最高温度:330℃)
0℃ 330℃

パーフロ(FFKM)材質の「耐熱・黒色」グレードです。現行のゴム材質としては最高峰となる330℃クラスの耐熱性と極めて優秀な耐薬品性とを兼備し、高温飽和スチームや高温アミン系流体などにも優れた耐性を示します。また、機械的性質も良好なことから、動的部分での使用にも適しています。フロロパワーFFSは、白色タイプのフロロパワーFFSWと並び、数あるパーフロ(FFKM)材質の中でもトップグレードに位置する特別なゴム材質です。

<半導体:CVD、拡散>

フロロパワー® FFSW

<材質番号:7328>

Fluoro-Power FFSW
FP−FFSW
耐熱白色グレード
(最高温度:330℃)

0℃ 330℃

パーフロ(FFKM)材質の「耐熱・白色」グレードです。現行のゴム材質としては最高峰となる330℃クラスの耐熱性と極めて優秀な耐薬品性とを兼備し、更には機械的性質を犠牲にすることなくノンカーボン化が実現されています。高度な低パーティクル性からCVDプロセスなどでの使用に適しているフロロパワーFFSWは、黒色タイプのフロロパワーFFSと並び、数あるパーフロ(FFKM)材質の中でもトップグレードに位置する特別なゴム材質です。

<半導体:CVD、拡散>

フロロパワー® FFN

<材質番号:7317>

Fluoro-Power FFN
FP−FFN
ノンフィラーグレード
(プラズマ用/特殊)
耐熱グレード
(最高温度:300℃)
0℃ 300℃

パーフロ(FFKM)材質の「ノンカーボン・ノンメタル」グレードです。充填剤(フィラー)を全く含まず、フロロパワーFFWフロロパワーFFSWなどの白色タイプを凌ぐ純粋性を実現しています。ドライプロセスに向けて設計された特殊グレードで、酸素プラズマをはじめとする特に過酷な環境での長時間使用にも耐え、優れた低パーティクル性を発揮することが出来ます。

<半導体:エッチング、CVD>

フロロパワー® FFP

<材質番号:7037>

Fluoro-Power FFP
FP−FFP
極低溶出グレード

0℃ 230℃

パーフロ(FFKM)材質の「極低溶出」グレードです。高純度薬品の製造やウェットプロセスに向けて設計された特殊グレードで、溶解性の高い液体に対する3周期以降の元素の溶出量が、最も溶出量が多くなる接液の初期段階に於いても5ppb(0.0000005%)未満となるように設計されています。

<半導体:ウェットプロセス>


フロロパワー®FFH90

<材質番号:7109>

Fluoro-Power FFH90
FP−FFH90
耐圧グレード
(耐ブリスター/AED)
耐熱グレード
(最高温度:280℃)
0℃ 280℃

パーフロ(FFKM)材質の「耐圧耐熱」グレードです。硬度がA90±5に設定されていることから強度が高く、優れた耐熱性や耐薬品性と相俟って特殊な高圧環境で実力を発揮します。また、高圧気体の急速減圧によるOリング内部の破裂を防止する性能「防爆性(耐ブリスター性)」に秀でており、公的認証も取得しているゴム材質です。

<RGDテスト合格;ISO 23936-2 認証取得>

フロロパワー® FFH

<材質番号:7108>

Fluoro-Power FFH
FP−FFH
耐熱グレード
(最高温度:300℃)
旧グレード
(現在はFFSを推奨)

0℃ 300℃

パーフロ(FFKM)材質の「耐熱・黒色」旧グレードです。現在でも生産しておりますが、図面指定などの特別な理由が無い限りは、全ての性能が上回っている新グレードのフロロパワーFFSへの切替を推奨しています。

<半導体:CVD、拡散>

フロロパワー®FFHW

<材質番号:7117>

Fluoro-Power FFHW
FP−FFHW
白色グレード
(プラズマ用/特殊)
耐熱グレード
(最高温度:280℃)
0℃ 280℃

パーフロ(FFKM)材質の「耐熱・白色」旧グレードです。現在でも生産しておりますが、殆ど全ての性能が上回っている新グレードのフロロパワーFFSWへの切替を推奨しています。但しCVDプロセスでの使用に於いては、LP-CVDやSA-CVDではフロロパワーFFSWがより優れた性能を発揮する反面、HDP-CVDやPE-CVDでは、一部ではありますがフロロパワーFFHWの方が相性の良い場合も確認されています。

<半導体:CVD、拡散>

(フロロアップ®FFEX)

<材質番号:2548>

Fluoro-Up FFEX
FU−FFEX

非粘着グレード

(フロロアップシリーズ)

0℃ 280℃

パーフロ(FFKM)材質の「非粘着・低摩擦・耐熱」グレードです。フロロアップシリーズに属し、その特徴である表面潤滑性を備えながら、優れた耐熱性や耐薬品性を保持しています。また、低アウトガス性や低固着性なども有している他、基本的にガス透過性が高いパーフロ(FFKM)材質が苦手とする高真空に対するシール性能についても、若干ながら良化しています。

<半導体:CVD、拡散>

* フロロパワー(Fluoro-Power)®ほか、カルレッツ(Kalrez)®などの各メーカーが掲げる高機能ゴム材質は、互換的に使用できるものが多い反面、特定の用途を目的に特別な性能が付与されているものも含まれています。相当品として取り扱う場合は、ご使用の条件などを注意深くご確認ください。

* 当サイトに掲載されているデータ等は、選定の目安として参考にして頂く為のものです。実際に使用する際は、様々な複合要因から一般的な仕様が当て嵌まらないこともありますので、適合性の事前確認を推奨いたします。

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