フロロパワーFFSW(耐熱・白色 FFKM/パーフロ)の概要

FP-FFSW.jpgフロロパワー(Fluoro-Power)®シリーズに属するFFKM(パーフロ)ゴム材質の耐熱白色タイプであるフロロパワーFFSW(Fluoro-Power FFSW/FP-FFSW)は、原材料パーフルオロエラストマー(FFKM)が用いられているOリング用の各種ゴム材質の中でも、耐熱黒色タイプのフロロパワーFFSと並んでトップグレードの高機能ゴム材質です。現行のゴム材質では最高峰に位置する330℃クラスの耐熱性と極めて優秀な耐薬品性を兼ね備え、更に機械的性質を犠牲にすることなくノンカーボン化を実現しています。

 

フロロパワーFFSWは、半導体をはじめとする電子産業での高温プラズマ環境に於いてプロセス品質を向上させ、且つOリングの長期間に亘る使用を可能とする性能を有しています。特にCVDプロセスや拡散プロセスで重視される高温やラジカル、腐食性ガスに対する耐久性能が秀でていることが、プロセスへの影響、並びにOリングの交換頻度を最小限に抑えることに直接的に寄与し、延いては全体的な生産効率の向上に貢献いたします。また、高温条件下でも良好な圧縮永久歪み率を維持するだけでなく、耐圧性ほか機械的性質にも優れていることから動的部分での使用にも適しており、電子産業に限らず幅広い分野で活躍できる素質を持った特別なゴム材質です。

 

尚、パーフロ(FFKM)材質の「耐熱・白色」グレードに於ける旧タイプのフロロパワーFFHWとの比較では、殆ど全ての性能について新タイプであるフロロパワーFFSWの方が勝っています。但し、CVDプロセスでの使用に於いては、LP-CVDやSA-CVDではフロロパワーFFSWやフロロパワーFFNがより優れた性能を発揮する反面、HDP-CVDやPE-CVDでは、一部ではありますがフロロパワーFFHWの方が相性の良いケースも確認されています。プラズマ環境では微妙な相性が寿命を左右することも御座いますので、必要に応じてご相談ください。

 

 * Oリング以外でも様々な形状の製品製作が可能ですので、お気軽にお問い合わせ下さい。
 * フロロパワー(Fluoro-Power)®は、桜シール株式会社の登録商標です。

>>>お問い合わせ

>>>販売(Oリング.com)

>>>フロロパワーシリーズ(高機能材)

>>>材質の一覧(ラインナップと性能)

>>>材質名称の対比(規格/メーカー)


化学構造

4フッ化エチレン・パーフルオロアルキルエーテル共重合物です。主鎖の全てがフッ素結合(C−F)で炭化水素結合(C−H)が無いことから、非常に優れた耐薬品性や耐熱性を有します。全体的に殆どフッ素化されている構造から架橋が難しい為、補助脚としてCSMが付加されています。 FP-FFSW.jpg
CSM:Cure Site Monomer

 

 

関連する法規制等

  • RoHS指令10物質(Pb, Cd, Hg, Cr6+, PBB, PBDE, DEHP, BBP, DBP, DIBP)の含有量は閾値以下です。
  • REACH規制対象物質の意図的添加はいたしておりません。